185光刻機終成
會議結束後,張沖志來到餘向東經理的辦公室,餘向東驚喜的問張沖志:“張總監真能生産反射鏡片?它的難度太大了!”
張沖志說:“5納米的反射境片我在春節後就造好了,等我再精磨以下,讓公司鍍上钼和矽反射膜就可以使用了。
不過對于钼矽反射膜我可以再優化一下,可以減少10%的對極紫外光線的吸收,這樣我們研發的二氧化碳激光光源,隻要能達到110W功率,就綽綽有餘了!這樣還可以節約三分之一的光源制造成本。”
餘向東一下抱住他說:“你真是神人也!夏盛要為你記一大功!國家要給你記一大功!那我們為什麼不全部生産2納米光刻機?”
張沖志說:“主要是那兩台光刻機已達不到2納米的要求了,再者我們的XS9000芯片性能優異,還不到淘狀的時候。
我們2納米的芯片是一枚核彈,隻有關鍵時刻将它點燃才能發揮巨大的作用,這裡面不僅有經濟作用,更有政治作用!這事你有時間向尹總說一說,我這就去忙了。”
說完轉身向往就走,就知他剛一出門,就被笑眯眯的尹總堵住了。
張沖志忙叫:“尹總好!你怎麼來了?”
尹總邊推着他重新進屋,邊說道:“你是不是對小娜做了什麼事,想躲我是不?回來也不向我彙報情況。”
張沖志馬上一頭黑線,他忙說:“尹總我隻是替你去看了一下小娜,她很好,将你的問候送到我就走了。”
尹總滿臉不信,他說:“小娜三天前回來了,一見我别的不問先打聽你的事,而且不停将你的名字挂在嘴邊,說你如何厲害。
我這七八十歲老頭子的身體一點也不關心一下,想來我就氣,正好找你問問。你老實交待,不可隐瞞!”
嘴角抽了兩抽,尊重長輩是軒轅美德,張沖志隻好将大體的經過又說了一遍,尹總聽完點了點頭,這才放過他。
餘向東和張沖志又将剛才的話向尹總彙報了一遍,讓尹總非常高興:“我們夏為這架破機器已經快完全修複好了,當換上心髒(芯片)時,一定竄的更高,一覽衆山小的感覺令人期待啊!”
張沖志将優化好的技術拿了出來,繞過專利壁壘,就帶領攻關小組開始工作。
反射鏡的鏡面加工精度要求是0.3納米,而一個原子的大小接近0.1納米,也就是說加工層要在三到四層原子之内。
現在真沒有什麼機械的加工精度達到這樣的精度,利用精密機械加工到一定精度後,可以再利用精磨人工打磨,不過失敗率很高,因此一年蘭斯麥超浸潤光刻機隻能生産幾十台,這個難度實在是高。
據說蘭斯麥的鏡片生産公司是蔡司公司,而蔡司生産鏡片的人是一個家族,三代都靠這門手藝吃飯,他們吃完飯後的工作就是磨各種鏡面。
這個工作對張沖志來說雖說有點難度,但還在他的控制精度之内。
另外他還有黑星,黑星利用探索絲可以上下左右每時每刻測繪鏡面的尺寸。
現在世界上最高的測繪記錄是由長島國的冷凍電鏡創造的,可以達到0.02納米的尺度。
現在黑星的探索絲通過這台冷凍電子通道顯微鏡的校準,測量精度已在0.01納米,這一精度與原子核尺寸相比還差的遠,還有三個數量級。
而且黑星可以通過立體放大,将三十厘米大小的鏡面放大到上千平方米大小,張沖志相信可以通過黑星,通過一定的練習,精準控制自己的力度。
他全身機能所能達到的準确率是蔡司公司老師傅的十倍以上,足可生産出更精密的鏡片。
由于張沖志的神經反應速度超過人類的40倍,這讓他的手法快速,他與黑星待在一個密閉的恒溫恒濕無塵的千平大房間内,用了一天的時間。
最後完成了十五套165塊5納米光刻機所用的鏡片,也就是布拉格反射器,當然也出了五套廢品。
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