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第一百八十四章 科技桂冠技術難(第1頁)

184科技桂冠技術難

夏盛麒麟公司是在4118年10月正式成立的一家專攻光刻機和高端芯片的企業,由夏為公司和鴻盛公司抽調精兵強将組建的。

董事長由夏為尹總擔當,王守柱和王媛為副董事長,餘向東為CE0,張沖志為隐形技術總監。

光刻機的設計已由張沖志借助黑星,并且融合蘭斯麥和尼康的技術,優化後設計出來。

芯片生産線也由張沖志結合長島國、東羅馬國、新陸國等最先進的技術,優化改進後設計出來。

其中許多關鍵設備都由軒轅鴻盛集團制造出來,這條生産線一旦建設完成,将成為世界上最先進的生産線,沒有之一,是超越葉積電的存在。

這接近一年的時間裡,整個夏盛麒麟公司的所有員工在研究各種材料,不停地試錯,争取尋找到一種材料,加工成零部件,裝配到光刻機上,使光刻機發揮出設計的功能來。

公司同時研發制造三台光刻機。

現在購買一台蘭斯麥超浸潤光刻機是1.5億新元以上,而夏盛麒麟公司的研發費用是它的許多倍。

即使有張沖志的設計和鴻盛集團強悍的零件加工能力,每台研發費用也最少在4億新元以上。

再加上芯片生産線,夏盛麒麟公司這段時間已吞金200億玄元以上,外界卻沒有聽到一點響動。

雖然有些視頻、報紙不時出個“标題黨”,忽悠一下大衆,内容全是撲風捉影,引不起什麼動靜來。

三台光刻機的加工精度當時是2納米,可是在制作過程中,夏盛公司發現這個難度太大,于是就降低了一下标準,計劃先制造生産5納米芯片的光刻機。

現在各項工作已完成95%,隻剩餘5%沒有完成,但是就這5%才是這光刻機的核心所在,體現了科技制造水平的高低。

就象你将一門大炮全部都造好了,最後發現無法造出大炮發射拴,那這門大炮也就失去了作用。

張沖志進了夏盛公司,換好無塵服直接去了三台光刻機的組裝車間,兜裡裝着黑星。

這個裝配車間是在地下,為恒溫無塵車間,由于沒有最後完成,所以外殼沒有按裝上,裸露着各種導線和零件。

但沒有實驗裡那樣粗糙的工藝,所有的零件看上去亂中有序,當你再仔細觀察時,就會有種精美藝術品的感覺。

你會發現所有能利用的空間都被利用起來,每一根細線都在它應該在的位置上,這就是經過優化後的設計,那怕是裸露着,也給人一種美感。

光刻機包含着13個分系統,3萬多個機械體,200多個傳感器,要想保證光刻機正常運行,每一步的準确率必須達到99.99%以上,尺寸的調整要達到百萬次以上。

蘭斯麥每年隻能生産20台,每一台都被人虎視眈眈的訂着。

超浸潤光刻機的光源波長為13.5納米,被稱為極紫外光源,經過收集後的功率為250w。

該光源産生的二氧化碳激光,要求必須精準打擊到由發射裝置發射出每秒高達50萬滴的純錫滴靶上面。

每一滴錫滴靶的直徑為30微米,錫滴被蒸發後還不能污染反光鏡。

鏡頭是光刻機的第二難點,由于超浸潤極紫外光線太短,除了被空氣吸收還會被玻璃吸收,所以采用反光鏡。

鏡面采用钼和矽制成的特殊膜,鍍到反光鏡的鏡面才有效果,這些鏡面凸起幅度不能超過0.3納米,而鏡面的直徑是30厘米。

整個鏡頭采用布拉格反射器,但是每經過一次反射,極紫光的強度就要損失十分之三的能量。

而蘭斯麥的光刻機中有11個反光鏡,也就是說光源要經過11次反射後才能到達晶圓,在晶圓上刻線,最終僅能剩餘2%的光線能量,所以對光源發射功率要求較大。

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